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Structure : Identifiant HAL de la structure : 188064

Structural and Micromechanical Assessment of Electrochemically Grown Metal Layers for Si Magnetic Microactuators

Susanna Martinez , Nourdin Yaakoubi , Christophe Serre , Alejandro Pérez-Rodríguez , Joan Ramon Morante et al.
MRS Proceedings, 2000, 657, ⟨10.1557/PROC-657-EE4.2⟩
Article dans une revue hal-02468608v1