Structural and Micromechanical Assessment of Electrochemically Grown Metal Layers for Si Magnetic Microactuators - Le Mans Université Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue MRS Proceedings Année : 2000
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02468608 , version 1 (06-02-2020)

Identifiants

Citer

Susanna Martinez, Nourdin Yaakoubi, Christophe Serre, Alejandro Pérez-Rodríguez, Joan Ramon Morante, et al.. Structural and Micromechanical Assessment of Electrochemically Grown Metal Layers for Si Magnetic Microactuators. MRS Proceedings, 2000, 657, ⟨10.1557/PROC-657-EE4.2⟩. ⟨hal-02468608⟩

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